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氮化鎵(GaN):重構能源未來的第三代半導體革命
發布時間:2025-07-12
氮化鎵(GaN)作為第三代半導體材料的代表,以其 3.4 電子伏特的禁帶寬度和 2.4×10? V/cm 的臨界擊穿電場,突破了傳統硅基材料的物理極限。這種寬禁帶特性使其在 650℃高溫環境下仍能穩定工作,同時支持 100GHz 以上的高頻信號處理,是 5G 基站、新能源汽車和衛星通信等領域的核心材料。
在晶體結構上,氮化鎵具有六方纖鋅礦結構,其原子排列方式賦予材料優異的電子遷移率(2000 cm2/V?s)和飽和漂移速度(2.5×10? cm/s)。通過金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)技術,可在藍寶石或碳化硅襯底上生長出厚度僅為微米級的高質量外延層。例如,北京大學團隊采用三維蛇形通道掩膜技術,在硅襯底上實現了低位錯密度的 GaN 外延生長,其肖特基二極管的理想因子低至 1.0,擊穿電壓達 175V,刷新了異質外延器件的世界紀錄。
1. 新能源汽車領域
GaN 功率器件正在重構車載能源系統。長安汽車啟源 E07 搭載的全球首款量產 GaN 車載充電器(OBC),采用納微半導體的 GaNSafe 功率 IC,實現了 6kW/L 的功率密度和 96% 的充電效率。相比傳統硅基方案,該系統在車輛生命周期內可節省 1563 元充電費用,并增加 10000 公里續航里程。匯川聯合動力的 6.6kW GaN OBC/DC-DC 二合一電源,通過單級拓撲架構和 AI 算法優化,將功率密度提升至 4.8kW/L,重量減輕 20%,適用于 V2L/V2V 等高動態場景。
2. 數據中心能效革命
隨著 AI 算力需求激增,數據中心面臨功率密度和散熱的雙重挑戰。GaN 與液冷技術的結合成為破局關鍵:英飛凌 CoolGaN?方案在 48V 直流供電系統中實現了 99% 的轉換效率,相比硅基器件降低 33% 的功率損耗。采用 GaN 的服務器電源可將機架功率密度提升至 40kW 以上,配合冷板液冷技術,數據中心 PUE(電能使用效率)可從 1.5 降至 1.2 以下。據測算,每 10 個機架改用 GaN 技術,每年可減少 100 噸碳排放,增加 300 萬美元收益。
3. 通信與消費電子
1. 襯底制備技術
當前 GaN 外延主要依賴藍寶石襯底,但晶格失配(13.4%)導致位錯密度高達 10? cm?2。國內企業通過氫化物氣相外延(HVPE)技術,已實現 4 英寸 GaN 自支撐襯底的量產,位錯密度降至 10? cm?2 以下。中科芯(蘇州)采用交替脈沖供給技術引入微量鐵摻雜,將背景載流子濃度降低至 101? cm?3,提升了器件可靠性。
2. 外延生長工藝
MOCVD 設備長期被美國 Aixtron 和德國 VEECO 壟斷,但國內企業通過自主研發實現突破。英諾賽科的 8 英寸 GaN 外延產線良率達 90%,成本較進口降低 40%。西電郝躍院士團隊開發的磁控濺射氮化鋁 / 石墨烯復合基底,解決了柔性 GaN 薄膜的應力問題,其柔性 LED 的發光效率達到 200 lm/W。
3. 器件設計創新
國家 “十四五” 規劃將第三代半導體列為重點發展方向,北京市順義區出臺專項政策,對 GaN 企業的流片費用、研發投入給予最高 30% 的補貼。國內企業加速全產業鏈布局:河南承明光電依托本地鎵資源,建成三甲基鎵生產線,推動 MO 源材料國產化;蘇州晶湛半導體投資 2.5 億元擴建 50 萬片 / 年 GaN 外延片產線,采用 HVPE 技術降低襯底成本;珠海、深圳等地的 GaN 項目通過優化廢氣處理系統,實現了氨氣、氯化氫的零排放。
1. 技術演進路徑
● 超高壓器件:北京大學研發的 1 萬伏級 GaN 功率器件,在 6500V 下動態電阻僅 0.1Ω?cm2,為特高壓輸電提供新方案。
● 集成化設計:清華大學團隊實現 GaN HEMT 與 SiC MOSFET 的單片集成,在 100kHz 頻率下效率提升至 98.5%。
● 新材料體系:AlGaN/GaN 異質結的二維電子氣密度達 1×1013 cm?2,為太赫茲器件奠定基礎。
2. 產業生態構建
氮化鎵技術的崛起,標志著半導體產業從 “硅基時代” 向 “寬禁帶時代” 的跨越。在政策支持與市場需求的雙重驅動下,國內企業正通過材料創新、工藝突破和生態構建,逐步打破國際壟斷。未來十年,GaN 將在能源互聯網、量子通信和深空探測等領域展現更大潛力,成為支撐我國科技自立自強的關鍵力量。這場材料革命不僅重塑著電子工業的底層架構,更在全球碳中和進程中書寫著中國方案。